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超聲波掃描顯微鏡的工作模式有哪些
日期：2025-11-09 02:23
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摘要：
超聲波掃描顯微鏡的工作模式，主要為C-Scan模式，所以稱為C-SAM，
聲學掃描原理
超聲波遇到與周圍材質不同的物質時被反射、散射、吸收、阻擋等，返回的聲波(回聲)用于內部結構的成像。由于聲波是物質波（matter wave），聲學掃描能夠反映X射線成像術無法探測到的封裝裂痕。
C-SAM原理
C-SAM是利用頻率高于20KHz的超聲波脈沖探測樣品內部空隙等缺陷的儀器，主要用于觀察組件內部的芯片粘接失效、分層、裂紋、夾雜物、空洞等。是一項非破壞性的檢測組件的完整性，內部結構和材料的內部情況的測試，作為無損檢測分析中的一種，它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。
脈沖回波
脈沖回波方法是利用反射波成像，可以具體的聚焦到某一層，從而可以判斷缺陷深度，但要注意分清元器件正反面。脈沖回波方法分為A-Scan、C-Scan、B-Scan。
掃描模式：
傳輸時間測量模式 A-Scan
表面及橫向截面掃描模式 C-Scan
縱向截面成像模式 B-Scan